技術アドバイザー紹介

集積回路パターン(精密位置合わせ)のコンサルタント

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機械工学及び、数理の知見とプログラミングのスキルあり。

技術士(機械部門)
一般計量士

経歴

1981年大手総合電機メーカー 入社 
半導体集積回路の製造技術を担当。 
主にリソグラフィ技術の集積回路パターン、中でも精密位置合わせに関する研究・開発に従事。
位置合わせの数学モデルを構築し、位置合わせ誤差データからその数学モデルを基にして
誤差要因分析プログラムを作成。また、計測データを統計処理して誤差要因の解明と改善により
世代毎の最先端デバイスの位置合わせのデザインルールを満たすことと歩留まりの向上に貢献。
その後も一貫して、位置合わせ誤差の低減に関する研究を続ける。

定年退職後個人事業所設立、現在に至る。

専門分野

機械工学
数理工学

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