技術アドバイザー紹介

露光装置設計・フォトプロセス技術のコンサルタント

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精密機械の開発に長年携わってきたので、類似の装置の精度改善やソフト改善などに貢献致します。

技術士(機械部門)
APECエンジニア

経歴

1980年 早稲田大学機械工学科 修士課程修了

1980年 大手光学機器メーカー入社
     測量機の機械設計を担当
1982年 ソフトウェア会社入社
1984年 大手光学機器メーカー入社
     半導体露光装置(ステッパー)のメインソフトウェアの開発を担当
 1985年 液晶露光装置の開発チーム発足、メインソフトウェア担当
 1986年 日本初の液晶用ステッパーを開発、後継機開発やステッパー高精度化技術などに取組む
 1994年 メインソフト開発課のマネジャー ステッパーやスキャナーのソフト開発を主導
     露光装置と計測器のネットワーク化による精度補正システム開発にも注力
 1996年 液晶用スキャナー式露光装置開発タスクフォースメンバー
     マルチレンズ方式露光装置をタスクフォースで発案、2000年にスキャナー初号機完成
 2000年 技術課マネジャー 露光装置の製造へのソフト利用などを担当
 2008年 アプリケーション課マネジャー ユーザ向け精度管理システムを開発
 2012年 フィルム露光用ロールtoロール型露光装置の開発プロジェクトリーダ
2014年 ディスプレイメーカ―入社 常務役員(フォトプロセス担当)
     有機ELや液晶パネル生産ラインにおけるフォトプロセス改良や精度管理システム開発
2019年 技術士事務所 開業
     露光装置等の精密機械開発及び、液晶や有機ELパネルの生産プロセス技術
     パネルの画質、特に表示ムラ低減方法に関するコンサルタント業務をおこなう

専門分野

露光装置設計(特にメインソフト、精度解析、アプリケーション開発、運用技術、アライメント技術)
液晶、有機ELパネル生産ラインのフォトプロセス技術

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