技術アドバイザー紹介

プラズマ技術/真空技術/ドライエッチング装置/イオンビーム装置

プラズマ技術の専門家の写真

プラズマ技術の内、特に高周波、マイクロ波および磁場を用いるプラズマ装置の開発を得意としております

技術士(応用理学部門)
工学博士

経歴

 1984年 大手真空装置メーカー 入社
   ・イオン注入装置の製造および生産技術業務
   ・イオンビーム装置および電子サイクロトロン共鳴(ECR)イオン源の研究開発
   ・ECRイオン源の開発および商品化
   ・磁気中性線放電(NLD)プラズマ源の研究開発
   ・誘導結合プラズマ(ICP)を用いる半導体スパッタリング装置用
    プリエッチング機構の研究開発,商品化
   ・NLDエッチング装置およびセクタ型イオンエネルギーアナライザの研究開発
 1999年 技術研究組合へ出向
   ・ドライエッチングプロセスにおけるRFバイアス技術の研究
   ・微細コンタクトホールエッチング技術の研究
   ・イオンビームを用いた高効率エッチング技術の研究
 2002年 大手真空装置メーカーへ帰任
   ・プラズマ気相成長(PECVD)装置,および触媒線CVD(Cat-CVD)装置の開発
   ・真空装置全般の生産技術の開発
 2012年 技術士事務所 開設
   ・真空装置および真空を用いるプロセスの開発・設計: 2社
   ・プラズマ装置および真空装置の開発,データ解析,設計: 2社
   ・プラズマ装置の開発,実験,データ解析: 1社
 2012年 中央大学理工学部電気電子情報通信工学科 教育技術員(非常勤)に就任

専門分野

 プラズマ技術(プラズマ装置,プラズマ源,プラズマ計測・診断技術),
 真空技術・真空装置,ドライエッチング装置,イオンビーム装置

セミナー・講演等実績

 2005年 6月 明星大学理工学部物理学科(現 総合理工学科物理学系)における講演
      「プラズマ技術のエンジニアとして」
 2006年 6月 明星大学理工学部物理学科(現 総合理工学科物理学系)における講演
      「プラズマ技術のエンジニアとして」
 2013年11月 日本技術士会 応用理学部会にて講演
      「産業界におけるプラズマ技術」
 2014年 4月 日本技術士会 神奈川県支部 第23回CPD講座にて講演
      「真空技術」
 2014年 9月 日本技術士会 生体・環境、保全交流会にて講演
      「産業界におけるプラズマ技術」

著書・論文等実績

 ・博士学位論文
 「磁気中性線放電プラズマの生成・制御と微細加工への応用に関する研究」
  2012年3月, 名古屋大学
 ・H. Tsuboi, et al., “Measurements of Parameters of Two-Electron-temperature
  Plasma Produced by Electron Cyclotron Resonance”, Japanese Journal
  of Applied Physics Vol. 33 (1994) pp. L541-L543.
 ・H. Tsuboi, et al., “Usefulness of Magnetic Neutral Loop Discharge Plasma
  in Plasma Processing”, Japanese Journal of Applied Physics
  Vol. 34 (1995) pp. 2476-2481.
 ・H. Tsuboi, et al., “Observation of Induction Power Dependence on the
  Magnetic Neutral Loop Discharge Plasma Thermalization Phenomena”,
  Japanese Journal of Applied Physics Vol. 36 (1997) pp. 6540-6544.
 ・H. Tsuboi and S. Ogata, “Observation of Characteristics of Magnetic Neutral
  Loop Discharge Plasma Appearing at Antenna in RF Circuit”, Japanese Journal
  of Applied Physics Vol. 46 (2007) pp. 7475-7477.

受賞歴

 2015年6月(公社)日本技術士会 会長表彰

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