技術アドバイザー紹介

半導体製造用薬品類の開発・設計

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日の丸半導体時代の半導体用薬品(洗浄液、エッチング液)の開発を行っていました。そのスキルがお役に立てばと思います。

特許管理者

経歴

 1978年 化学工業メーカー 入社
  工業用試薬メーカーで研究所に配属、半導体製造用薬品の開発を担当
  (1)フォトレジスト,シリコン基板洗浄液,液晶パネル製造用エッチング液の開発に従事
     出願特許:50件以上,洗浄液,ITOエッチング液は現在も販売中。
  (2)電子材料生産技術部(半導体製造用薬品の生産にかかわる技術の管理)の管理者
 2016年 同社退職

専門分野

 半導体製造用薬品類の開発・設計

セミナー・講演等実績

 ・透明導電膜(ITO)エッチング技術関連
  半導体洗浄液(CMP後洗浄液)
  その他、フォトレジスト,洗浄液,エッチング液関連で応用物理学会に登壇

著書・論文等実績

 ・ウェットエッチングのメカニズムと処理パラメータの最適化
  第4節 透明導電膜(ITO)ウェットエッチングの課題と対策技術
  その他、ITO関連や洗浄技術で数件

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