技術顧問・技術コンサルタント
技術アドバイザーの「技術継承.com」

経歴

1981年　京都大学工学部　石油化学科　卒業
1983年　京都大学大学院　工学研究科石油化学専攻　修士課程修了
1992年　大阪大学大学院　工学研究科工学　博士号取得

1983年　大手電機メーカー入社
　　　　　研究所にて、紫外線・電子線を用いた半導体リソグラフィ、レジストプロセスの
　　　　　開発に従事
1988年　米国企業に出向
　　　　　KrFエキシマレーザを用いた半導体リソグラフィの米国大手半導体メーカーとの
　　　　　共同開発に参画
1990年　元会社に復職
　　　　　KrFエキシマレーザを用いた半導体リソグラフィ、レジスト、レジストプロセスの
　　　　　開発および工場導入に貢献
1997年　ArFエキシマレーザを用いた半導体リソグラフィ、レジスト、レジストプロセスの
　　　　　開発に貢献
1998年　半導体国家プロジェクトに出向
　　　　　ArFエキシマレーザ、F2レーザを用いた半導体リソグラフィ、レジストプロセスの
　　　　　開発にリーダーとして貢献
2000年　元会社に復職
　　　　　ArF液浸、EUVを用いた半導体リソグラフィ、レジスト、レジストプロセスの
　　　　　開発を先導
2008年　ArF液浸を用いた半導体リソグラフィ、レジストプロセスの工場導入に貢献
2009年　国立大学研究所に転職　　　　　
　　　　　特任教授としてEUVを用いたレジスト、レジストプロセスの研究開発に従事
2013年　招聘教授としてEUVを用いたレジスト、レジストプロセスの研究開発に従事